正規講義
MEMS基礎講座
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- 2006年 MEMS基礎講座
- 2006年度 工学研究科
大学院工学研究科 江刺 正喜
大学院工学研究科 桑野 博喜
大学院工学研究科 小野 崇人
大学院工学研究科 西澤 松彦
大学院工学研究科 田中 秀治
大学院工学研究科 芳賀 洋一
株式会社 テクノ・インテグレーション 代表取締役 出川 通
大学院工学研究科 戸津 健太郎
MEMSとは
ウェットエッチング
フォトリソグラフィ
ドライエッチング(プラズマとRIE)
不純物導入、酸化およびCVD
蒸着、スパッタリング
接合、研磨、めっき
設計
MEMSの応用例
マイクロマシニング1
マイクロマシニング2
ナノマシニングと微小物理
自動車・家電関連
情報・通信関連
製造検査・科学機器、過酷環境MEMS関連
医療・バイオ関連
マイクロアクチュエータ
マイクロエネルギー源
MEMSパークコンソーシアム概要
MEMS技術経営 - 2007年 MEMS基礎講座
- ２００7年度 工学研究科
大学院工学研究科 江刺 正喜
大学院工学研究科 桑野 博喜
大学院工学研究科 小野 崇人
大学院工学研究科 西澤 松彦
大学院工学研究科 田中 秀治
大学院工学研究科 芳賀 洋一
株式会社 テクノ・インテグレーション 代表取締役 出川 通
大学院工学研究科 宮下 英俊
大学院工学研究科 戸津 健太郎
MEMSとは
ウェットエッチング
フォトリソグラフィ
ドライエッチング(プラズマとRIE)
不純物導入、酸化およびCVD
蒸着、スパッタリング
接合、研磨、めっき
設計
MEMSの応用例
マイクロマシニング1
マイクロマシニング2
ナノマシニングと微小物理
自動車・家電関連
情報・通信関連
製造検査・科学機器、過酷環境MEMS関連
医療・バイオ関連
マイクロアクチュエータ
マイクロエネルギー源
MEMSパークコンソーシアム概要
MEMS技術経営 - 2008年 MEMS基礎講座
- 2008年度 工学研究科
大学院工学研究科 江刺 正喜
大学院工学研究科 桑野 博喜
大学院工学研究科 小野 崇人
大学院工学研究科 西澤 松彦
大学院工学研究科 田中 秀治
大学院工学研究科 芳賀 洋一
株式会社 テクノ・インテグレーション 代表取締役 出川 通
大学院工学研究科 宮下 英俊
大学院工学研究科 戸津 健太郎
MEMSとは
ウェットエッチング
フォトリソグラフィ
ドライエッチング(プラズマとRIE)
不純物導入、酸化およびCVD
蒸着、スパッタリング
接合、研磨、めっき
設計
MEMSの応用例
マイクロマシニング1
マイクロマシニング2
ナノマシニングと微小物理
自動車・家電関連
情報・通信関連
製造検査・科学機器、過酷環境MEMS関連
医療・バイオ関連
マイクロアクチュエータ
マイクロエネルギー源
MEMSパークコンソーシアム概要
MEMS技術経営